دریچه ای برای بهبود کارایی سامانه های لایه نشانی اتمی طراحی شد
به گزارش مجله آرنا، یکی از شرکت های فراوریکننده قطعات و تجهیزات مربوط به لایه نشانی اتمی، دریچه ای برای استفاده از این سامانه ها فراوری نموده که می تواند کارایی و سرعت لایه نشانی را در این تجهیزات افزایش دهد.
جهت دریافت مشاوره خدمات قیمت چاپ کاتالوگ از بهترین و مجربترین طراحان کشور همراه ما باشید. از طراحی تا چاپ کاتالوگ های تبلیغاتی حرفه ای را با بهترین قیمت از ما بخواهید.
به گزارش گروه فناوری مجله آرنا، شرکت سواگلوک ارائه دهنده رهیافت های جدید برای سامانه های سیالی و لایه نشانی، اعلام نمود که دریچه های با خلوص بالا (UHP) را برای استفاده در سیستم های لایه نشانی اتمی ارائه نموده است. این دریچه ها برای تجهیزاتی که در آن جریان سیال یا گاز وجود دارد، قابل استفاده است.
از زمانی که فناوری لایه نشانی اتمی به بازار عرضه شده، شرکت سواگلوک با شرکت های فراورینماینده ابزار های نیمه هادی و فراورینمایندگان تراشه وارد همکاری شده است تا به آن ها در تامین احتیاج های خود یاری کند.
این دریچه که به ALD 20 شهرت دارد، نتیجه همکاری شرکت سواگلوک با فراورینمایندگان تجهیزات است. این دریچه به این شرکت ها یاری می نماید تا بتوانند طراحی بهتری را در ساخت تجهیزات تجربه نمایند و در نهایت امکان ایجاد فشار بخار کم در دستگاه های لایه نشانی اتمی فراهم گردد.
این فناوری که پتنت آن در حال ثبت است، کارایی فرآیند فراوری را به بیشینه مقدار خود می رساند و یکنواختی لایه ایجاد شده را بهبود می دهد. این کار با دو تا سه برابر کردن ضریب جریان انجام می گردد.
با استفاده از این فناوری می توان سرعت جریان را به 1.2 Cv در دستگاه های لایه نشانی اتمی رایج رساند. بنابراین، کاربر می تواند خروجی فراوری را افزایش دهد بدون این که احتیاج به تغییرات اضافی در سیستم یا استفاده مجدد از سیستم باشد.
این دریچه می تواند در یک محفظه در بازه دمایی 10 درجه سانتی گراد تا 200 درجه سانتی گراد کار کند و موجب افزایش پایداری حرارتی و یکنواختی لایه ایجاد شده، گردد. همچنین این دریچه دارای بدنه ای از فولاد ضدزنگ بوده که در برابر خوردگی نیز مقاوم است و می تواند استحکام دستگاه را در برابر ترکیبات خورنده حفظ کند.
گریک جوزف مدیر بازرگانی شرکت سواگلوک می گوید: ALD 20 پاسخی به احتیاج هایی است که سریع در صنعت نیمه هادی ایجاد می شوند. ما به وسیله مشارکت با رهبران صنعتی و استفاده از تجربیات مهندسی خود، محصولی به بازار عرضه نموده ایم که به مشتریان ما امکان می دهد تا به طور موثر از پیش ماده های گازی استفاده نمایند کاری که پیش از این چالش برانگیز بود.
منبع: خبرگزاری دانشجو